斜齒輪具有更高的傳動效率，得益于加工復雜度和齒輪結構的精度。斜齒輪精密行星減速機在傳動精度上表現的更好，特別是在大功率行星減速機上，具有更高的扭矩和更穩定的傳動，小功率的齒輪減速機也會采用斜齒輪來降低傳動誤差;斜齒輪能夠有效的補償每個薄片齒輪誤差。這個補償對于輪齒的彈性非常有效，因而得出這樣的結果，誤差在10mm以內的齒輪都能夠使誤差起平均作用，從而大幅度減少震動，因而在有負載情況下，能和誤差為1mm以內的輪齒那樣平穩運行。