首先來檢查高、低速軸與聯軸器配合尺寸。然后測量行星減速機軸的彎曲度。當伺服減速機受到較大沖擊時，如斷齒、齒頂齒，將軸送修配用車床測量彎曲度；周期性大修時，待齒輪就位軸承間隙調整后，進行彎曲度的測量，作為下次伺服減速機檢修的參考數據。

    接下來是減速機齒輪的檢查，用銅棒敲擊法檢查齒輪在軸上的緊固情況。齒輪平衡重塊不得有松動和脫落現象，齒輪在軸上無松動，齒輪端面有擠壓變形時，應將變形伸出的毛刺打磨平整。